
반도체 더 작아지고 빨라진다.. 비정질 질화붕소 합성

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[아시아경제 황준호 기자] 국내 연구진이 반도체 안에서 전자의 이탈을 막아주는 절연체에 활용할 새로운 소재를 개발했다. 이 소재를 이용하면 메모리와 같은 반도체 칩의 작동속도를 더욱 높이거나 반도체의 크기를 더욱 줄일 수 있을 것으로 예상된다.
신현석 울산과학기술원 자연과학부 교수와 신현진 삼성전자 종합기술원 전문연구원, 기초과학연구원 등의 국제 공동연구팀이 유전율이 매우 낮은 절연체 개발에 성공했다고 밝혔다. 연구 결과는 25일(현지시간) 국제 학술지인 네이처에 소개됐다.

연구팀은 비정질 질화붕소 소재를 합성하는데 성공했다. 이 소재는 기존 절연체보다 유전율이 30% 이상 낮은 소재다. 반도체 소재 내 금속 배선에서 전자가 다른 부분으로 이탈하는 것을 막는 절연체는 외부 전기장에 반응하는 민감도를 나타내는 유전율이 낮아야 한다. 유전율이 낮을수록 전기적 간섭이 줄어 반도체 소자 내 급속 배선의 간격을 줄일 수 있다. 더욱 작은 반도체를 만들 수 있게 되는 것이다.
현재와 같은 나노미터 단위의 반도체 공정에서는 소자가 작아질수록 내부 전기 간섭 현상이 심해져 오히려 정보처리 속도가 느려지게 된다. 이러한 이유로 전기 간섭을 최소화하는 낮은 유전율을 가진 신소재 개발이 반도체 한계 극복의 핵심인 상황이다.
연구팀은 새로 개발한 소재의 유전율이 1.78로, 현재 반도체 공정에서 사용되는 절연체는 다공성 유기규산염으로 유전율(2.5)보다 낮다는 점에서 반도체 칩의 전력 소모를 줄이고 작동 속도도 높일 수 있을 것으로 기대했다.
연구팀은 또 기존 절연체는 미세한 공기 구멍을 넣어 강도가 약하다는 단점이 있었는데 비정질 질화붕소를 사용하면 공기 구멍이 없어도 돼, 높은 강도를 유지할 수 있다고 밝혔다.
연구팀은 이번 연구를 통해 이론적 계산 및 포항가속기연구소 4D 빔라인을 활용해 비정질 질화붕소의 유전율이 낮은 이유가 '원자 배열의 불규칙성' 때문이라는 점도 밝혀냈다.

제1저자인 홍석모 UNIST 박사과정 연구원은 "낮은 온도에서 육방정계 질화붕소(화이트 그래핀)가 기판에 증착되는지 연구하던 중 우연히 '비정질 질화붕소'의 유전율 특성을 발견했고, 반도체 절연체로써 적용 가능성을 확인했다"고 연구과정을 밝혔다.
교신저자인 신현석 UNIST 교수는 "이 물질이 상용화된다면 중국의 반도체 굴기와 일본의 수출 규제 등 반도체 산업에 닥친 위기를 이겨내는 데 큰 도움이 될 것"이라며 "반도체 초격차 전략을 이어갈 수 있는 핵심 소재기술"이라고 강조했다.
공동 교신저자인 신현진 삼성전자 종합기술원 전문연구원은 "이번 연구결과는 반도체 산업계에서 기술적 난제로 여겨지던 부분에 대해 학계와 산업계가 상호 협력을 통해 해결방안을 찾아낸 모범적인 사례"라고 말했다.
황준호 기자 rephwang@asiae.co.kr
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[아시아경제 황준호 기자] 국내 연구진이 반도체 안에서 전자의 이탈을 막아주는 절연체에 활용할 새로운 소재를 개발했다. 이 소재를 이용하면 메모리와 같은 반도체 칩의 작동속도를 더욱 높이거나 반도체의 크기를 더욱 줄일 수 있을 것으로 예상된다.
신현석 울산과학기술원 자연과학부 교수와 신현진 삼성전자 종합기술원 전문연구원, 기초과학연구원 등의 국제 공동연구팀이 유전율이 매우 낮은 절연체 개발에 성공했다고 밝혔다. 연구 결과는 25일(현지시간) 국제 학술지인 네이처에 소개됐다.
새로운 절연체 개발

연구팀은 비정질 질화붕소 소재를 합성하는데 성공했다. 이 소재는 기존 절연체보다 유전율이 30% 이상 낮은 소재다. 반도체 소재 내 금속 배선에서 전자가 다른 부분으로 이탈하는 것을 막는 절연체는 외부 전기장에 반응하는 민감도를 나타내는 유전율이 낮아야 한다. 유전율이 낮을수록 전기적 간섭이 줄어 반도체 소자 내 급속 배선의 간격을 줄일 수 있다. 더욱 작은 반도체를 만들 수 있게 되는 것이다.
현재와 같은 나노미터 단위의 반도체 공정에서는 소자가 작아질수록 내부 전기 간섭 현상이 심해져 오히려 정보처리 속도가 느려지게 된다. 이러한 이유로 전기 간섭을 최소화하는 낮은 유전율을 가진 신소재 개발이 반도체 한계 극복의 핵심인 상황이다.
연구팀은 새로 개발한 소재의 유전율이 1.78로, 현재 반도체 공정에서 사용되는 절연체는 다공성 유기규산염으로 유전율(2.5)보다 낮다는 점에서 반도체 칩의 전력 소모를 줄이고 작동 속도도 높일 수 있을 것으로 기대했다.
연구팀은 또 기존 절연체는 미세한 공기 구멍을 넣어 강도가 약하다는 단점이 있었는데 비정질 질화붕소를 사용하면 공기 구멍이 없어도 돼, 높은 강도를 유지할 수 있다고 밝혔다.
연구팀은 이번 연구를 통해 이론적 계산 및 포항가속기연구소 4D 빔라인을 활용해 비정질 질화붕소의 유전율이 낮은 이유가 '원자 배열의 불규칙성' 때문이라는 점도 밝혀냈다.
반도체, 더 빨라지고 더 작아진다

제1저자인 홍석모 UNIST 박사과정 연구원은 "낮은 온도에서 육방정계 질화붕소(화이트 그래핀)가 기판에 증착되는지 연구하던 중 우연히 '비정질 질화붕소'의 유전율 특성을 발견했고, 반도체 절연체로써 적용 가능성을 확인했다"고 연구과정을 밝혔다.
교신저자인 신현석 UNIST 교수는 "이 물질이 상용화된다면 중국의 반도체 굴기와 일본의 수출 규제 등 반도체 산업에 닥친 위기를 이겨내는 데 큰 도움이 될 것"이라며 "반도체 초격차 전략을 이어갈 수 있는 핵심 소재기술"이라고 강조했다.
공동 교신저자인 신현진 삼성전자 종합기술원 전문연구원은 "이번 연구결과는 반도체 산업계에서 기술적 난제로 여겨지던 부분에 대해 학계와 산업계가 상호 협력을 통해 해결방안을 찾아낸 모범적인 사례"라고 말했다.
황준호 기자 rephwang@asiae.co.kr
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"총선 이긴 민주당, 거침없고 난폭해
문재인 정권 폭정에 어떻게 저항할까 고민 길어져
추경 꼼꼼히 살피고, 대북외교 국정조사 추진하겠다"
지난 15일 오후 국회 상임위원장 선출을 위해 열린 국회 본회의에서 미래통합당 의원들이 불참한 가운데 주호영 미래통합당 원내대표가 여야 합의없는 상임위원장 선출에 항의하는 의사진행 발언을 하고 있다.(자료사진) ⓒ데일리안 박항구 기자더불어민주당의 단독 원구성 이후 사찰을 돌려 칩거하던 주호영 통합당 원내대표가 복귀를 결단했다.
주 원내대표는 24일 페이스북을 통해 "넘어진 그 땅을 딛고 다시 일어나겠다"며 "내일 국회려 돌아가려 한다"고 밝혔다.
주 원내대표는 "총선에서 이긴 민주당은 거침이 없고 난폭했다. 말이 좋아 원 구성 협상이었지, 거대 여당의 횡포와 억지에 불과했다"며 "103석의 야당으로서는 막을 방법이 없었다"고 전했다.
그러면서 "막아내지 못한 책임감, 4년 내내 일방적으로 국회를 끌고 가도 소수야당으로 저지할 수단이 마땅치 않다는 무력감, 그리고 삼권분립·법치주의·민주주의가 파괴되는 것을 국민들에게 알려야 한다는 절박감으로 원내대표직을 사임하고, 고민과 결의의 시간을 가졌다"며 "문재인 정권의 폭정에 어떻게 저항할 것인가? 그 고민이 길어졌다"고 말했다.
25일 국회 복귀를 결심한 그는 "원내대표로의 복귀 여부는 내일 의원총회에서 의원님들의 뜻을 물어 정하도록 하겠다"며 "앞으로 저는 문재인 정권의 폭정, 집권 여당의 폭거에 맞서 싸우겠다"고 선언했다.
주 원내대표는 "문재인 정권의 엉터리 국정운영이 한계점에 다다랐다. 상임위 몇 개 더 가져오겠다고 싸우는 것이 아니다"며 "이제 국민은 안중에 없는 거대 여당 폭주에 따른 국정 파탄의 책임도 전적으로 여당이 져야 할 것"이라고 성토했다.
그는 국회로 돌아와 △1주일 심사하고 통과시키겠다는 35조 규모의 추경예산을 꼼꼼히 들여다보고 △윤미향 기부금 유용 의혹 △지난 3년간의 '분식평화'와 굴욕적 대북외교에 대한 국정조사도 추진하겠다고 밝혔다.
다음은 주호영 원내대표의 입장문 전문.
<넘어진 그 땅을 딛고 다시 일어나겠습니다>
총선에서 이긴 민주당은 거침이 없고 난폭하였습니다.말이 좋아 원 구성 협상이었지, 거대 여당의 횡포와 억지에 불과했습니다. 여당이 숫자로 거칠게 밀어붙이는데 103석의 야당으로서는 막을 방법이 없었습니다.
민주당은 1987년 체제 이후 우리가 애써 쌓아온 의회민주주의의 원칙과 절차를 ‘잘못된 관행-적폐’로 규정했습니다. 국회의장은 헌정사상 처음으로 우리당 의원들의 상임위를 함부로 강제배정했고, 법사위를 비롯한 자신들이 선호하는 상임위원장을 일방적으로 가져갔습니다. 집권세력은 ‘의회독재’, ‘일당독재’라는 우리의 항변에 아랑곳하지 않았습니다.
막아내지 못한 책임감, 4년 내내 일방적으로 국회를 끌고 가도 소수야당으로 저지할 수단이 마땅치 않다는 무력감, 그리고 삼권분립·법치주의·민주주의가 파괴되는 것을 국민들에게 알려야 한다는 절박감으로 원내대표직을 사임하고, 고민과 결의의 시간을 가졌습니다.
지난 20일 김종인 비대위원장께서 법주사로 찾아오셔서 저의 거취와 우리 당의 앞날에 대해 오래 이야기를 나누었습니다. 김 위원장께서 충북 보은을 떠나면서 이렇게 말씀하셨습니다. “이제 상임위원장은 내려놓읍시다. 국회 상황이 주 대표 혼자 책임질 일은 아니지 않습니까? 마음 다스리고 다음 주에는 올라오세요”
문재인 정권의 폭정에 어떻게 저항할 것인가? 그 고민이 길어졌습니다. 서울을 떠나 지방의 산사를 찾았습니다. 대개 한번 찾아가겠다고 약속만 하고 찾지 못했던 절들입니다. 49재가 끝나지 않은 아버님 제례 때문에 들른 절도 있습니다.
첫머리에 들른 아산 현충사에서 충무공 이순신 장군의 삶과 죽음을 오래 생각했습니다. 냉철한 현실 인식, 철저한 준비, 선공후사, 신상필벌, 사즉생의 각오… 우리 당이 살아날 길은 이 길밖에 없다, 우리의 충성심은 오직 국민을 향해야 한다. 다짐하고 또 다짐했습니다.
내일 국회로 돌아가려고 합니다. 원내대표로의 복귀 여부는 내일 의원총회에서 의원님들의 뜻을 물어 정하도록 하겠습니다.
앞으로 저는 문재인 정권의 폭정, 집권 여당의 폭거에 맞서 싸우겠습니다. 나라를 파탄으로 몰아가는 이 정권의 실정을 국민 여러분께 그 민낯까지 낱낱이 알리겠습니다. 국민만 보고 싸우겠습니다.
文 정권의 엉터리 국정운영이 한계점에 이르렀습니다. 김여정이 무력도발을 협박하는 상황에서도 여당은 ‘종전선언을 하자’, ‘판문점 선언을 비준하자’고 고집했습니다. 국정을 책임진 사람들이 자신만의 ‘가상현실’에 살고 있습니다.
여당과 국회의장이 ‘폭거와 폭주’로 구성한 법사위에서 지금 벌어지고 있는 일을 보십시오. 한명숙 전 총리에 대한 대법원 판결을 뒤집기 위해, 드루킹 사건과 울산 선거부정 사건의 전모를 은폐하기 위해 검찰과 법원을 연일 협박하고 있습니다. 대한민국의 법치와 민주주의가 무너지고 있습니다. 이 정권이, 이 국회가 어디로 가려는지 우리 국민들은 목도 중입니다.
상임위 몇 개 더 가져오겠다고, 싸우고 있는 것이 아닙니다. 민주당이 숫자로 자기 하고 싶은 대로 하겠다고 하니 그렇게 하라는 것이 우리 당의 입장입니다. 이제 국민은 안중에 없는 거대 여당 폭주에 따른 국정 파탄의 책임도 전적으로 여당이 져야 할 것입니다.
청와대와 여당이 1주일 심사하고 통과시키겠다는 35조원 규모의 추경예산. 시급한 코로나 경제위기 극복용이 아니라, 여기저기 흩어져 있던 불요불급한 사업예산을 모아 땜질한 것입니다. 35조의 국민 세금이 투입되는 추경, 꼼꼼히 들여다보겠습니다.
윤미향 기부금 유용 의혹, 지난 3년간의 ‘분식평화’와 굴욕적 대북외교에 대한 국정조사도 추진하겠습니다.
집권세력의 오만과 횡포로 속절없이 엎어졌습니다. 이번에 찾아뵌 조계종 진제 대선사께서는 “넘어진 데서 원인을 찾고 일어 서라”고 충고하셨습니다. 넘어진 그 땅을 딛고 다시 일어서겠습니다. 끝까지 지켜봐 주십시오. 그리고 성원해 주십시오.
데일리안 이슬기 기자 (seulkee@dailian.co.kr)
ⓒ (주)데일리안 - 무단전재, 변형, 무단배포 금지
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"총선 이긴 민주당, 거침없고 난폭해
문재인 정권 폭정에 어떻게 저항할까 고민 길어져
추경 꼼꼼히 살피고, 대북외교 국정조사 추진하겠다"

주 원내대표는 24일 페이스북을 통해 "넘어진 그 땅을 딛고 다시 일어나겠다"며 "내일 국회려 돌아가려 한다"고 밝혔다.
주 원내대표는 "총선에서 이긴 민주당은 거침이 없고 난폭했다. 말이 좋아 원 구성 협상이었지, 거대 여당의 횡포와 억지에 불과했다"며 "103석의 야당으로서는 막을 방법이 없었다"고 전했다.
그러면서 "막아내지 못한 책임감, 4년 내내 일방적으로 국회를 끌고 가도 소수야당으로 저지할 수단이 마땅치 않다는 무력감, 그리고 삼권분립·법치주의·민주주의가 파괴되는 것을 국민들에게 알려야 한다는 절박감으로 원내대표직을 사임하고, 고민과 결의의 시간을 가졌다"며 "문재인 정권의 폭정에 어떻게 저항할 것인가? 그 고민이 길어졌다"고 말했다.
25일 국회 복귀를 결심한 그는 "원내대표로의 복귀 여부는 내일 의원총회에서 의원님들의 뜻을 물어 정하도록 하겠다"며 "앞으로 저는 문재인 정권의 폭정, 집권 여당의 폭거에 맞서 싸우겠다"고 선언했다.
주 원내대표는 "문재인 정권의 엉터리 국정운영이 한계점에 다다랐다. 상임위 몇 개 더 가져오겠다고 싸우는 것이 아니다"며 "이제 국민은 안중에 없는 거대 여당 폭주에 따른 국정 파탄의 책임도 전적으로 여당이 져야 할 것"이라고 성토했다.
그는 국회로 돌아와 △1주일 심사하고 통과시키겠다는 35조 규모의 추경예산을 꼼꼼히 들여다보고 △윤미향 기부금 유용 의혹 △지난 3년간의 '분식평화'와 굴욕적 대북외교에 대한 국정조사도 추진하겠다고 밝혔다.
다음은 주호영 원내대표의 입장문 전문.
<넘어진 그 땅을 딛고 다시 일어나겠습니다>
총선에서 이긴 민주당은 거침이 없고 난폭하였습니다.말이 좋아 원 구성 협상이었지, 거대 여당의 횡포와 억지에 불과했습니다. 여당이 숫자로 거칠게 밀어붙이는데 103석의 야당으로서는 막을 방법이 없었습니다.
민주당은 1987년 체제 이후 우리가 애써 쌓아온 의회민주주의의 원칙과 절차를 ‘잘못된 관행-적폐’로 규정했습니다. 국회의장은 헌정사상 처음으로 우리당 의원들의 상임위를 함부로 강제배정했고, 법사위를 비롯한 자신들이 선호하는 상임위원장을 일방적으로 가져갔습니다. 집권세력은 ‘의회독재’, ‘일당독재’라는 우리의 항변에 아랑곳하지 않았습니다.
막아내지 못한 책임감, 4년 내내 일방적으로 국회를 끌고 가도 소수야당으로 저지할 수단이 마땅치 않다는 무력감, 그리고 삼권분립·법치주의·민주주의가 파괴되는 것을 국민들에게 알려야 한다는 절박감으로 원내대표직을 사임하고, 고민과 결의의 시간을 가졌습니다.
지난 20일 김종인 비대위원장께서 법주사로 찾아오셔서 저의 거취와 우리 당의 앞날에 대해 오래 이야기를 나누었습니다. 김 위원장께서 충북 보은을 떠나면서 이렇게 말씀하셨습니다. “이제 상임위원장은 내려놓읍시다. 국회 상황이 주 대표 혼자 책임질 일은 아니지 않습니까? 마음 다스리고 다음 주에는 올라오세요”
문재인 정권의 폭정에 어떻게 저항할 것인가? 그 고민이 길어졌습니다. 서울을 떠나 지방의 산사를 찾았습니다. 대개 한번 찾아가겠다고 약속만 하고 찾지 못했던 절들입니다. 49재가 끝나지 않은 아버님 제례 때문에 들른 절도 있습니다.
첫머리에 들른 아산 현충사에서 충무공 이순신 장군의 삶과 죽음을 오래 생각했습니다. 냉철한 현실 인식, 철저한 준비, 선공후사, 신상필벌, 사즉생의 각오… 우리 당이 살아날 길은 이 길밖에 없다, 우리의 충성심은 오직 국민을 향해야 한다. 다짐하고 또 다짐했습니다.
내일 국회로 돌아가려고 합니다. 원내대표로의 복귀 여부는 내일 의원총회에서 의원님들의 뜻을 물어 정하도록 하겠습니다.
앞으로 저는 문재인 정권의 폭정, 집권 여당의 폭거에 맞서 싸우겠습니다. 나라를 파탄으로 몰아가는 이 정권의 실정을 국민 여러분께 그 민낯까지 낱낱이 알리겠습니다. 국민만 보고 싸우겠습니다.
文 정권의 엉터리 국정운영이 한계점에 이르렀습니다. 김여정이 무력도발을 협박하는 상황에서도 여당은 ‘종전선언을 하자’, ‘판문점 선언을 비준하자’고 고집했습니다. 국정을 책임진 사람들이 자신만의 ‘가상현실’에 살고 있습니다.
여당과 국회의장이 ‘폭거와 폭주’로 구성한 법사위에서 지금 벌어지고 있는 일을 보십시오. 한명숙 전 총리에 대한 대법원 판결을 뒤집기 위해, 드루킹 사건과 울산 선거부정 사건의 전모를 은폐하기 위해 검찰과 법원을 연일 협박하고 있습니다. 대한민국의 법치와 민주주의가 무너지고 있습니다. 이 정권이, 이 국회가 어디로 가려는지 우리 국민들은 목도 중입니다.
상임위 몇 개 더 가져오겠다고, 싸우고 있는 것이 아닙니다. 민주당이 숫자로 자기 하고 싶은 대로 하겠다고 하니 그렇게 하라는 것이 우리 당의 입장입니다. 이제 국민은 안중에 없는 거대 여당 폭주에 따른 국정 파탄의 책임도 전적으로 여당이 져야 할 것입니다.
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데일리안 이슬기 기자 (seulkee@dailian.co.kr)
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